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技術(shù)文章

在線膜厚透射光譜儀 BTR-1介紹

在線膜厚透射光譜儀 BTR-1介紹

施加到薄膜上的薄膜的厚度是通過鹵素光的光學干涉法測量的。 同時進行透光率測量,可自動管理膜厚數(shù)據(jù),輸出異常值的外部信號。
薄膜生產(chǎn)線的光譜檢測系統(tǒng),可以與控制面板和操作員操作部分的距離相距幾十米,同時控制面積傳感器和編碼器,實現(xiàn)超越光譜測量概念的新型薄膜檢測。

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在線膜厚透射光譜儀概述

隨著生產(chǎn)現(xiàn)場的需求開始,各種薄膜的厚度和涂層薄膜的管理正在迅速增長。
通過透射率管理透明度和使用色度管理色粒也引起了人們的關(guān)注。
Emprunner BTR-11是一款光譜儀,它將這種光測量整合到高速運行的在線過程過程中,這是一種新概念的在線光譜檢測系統(tǒng),支持每個控制信號并實施安全措施。
內(nèi)部光譜不受薄膜寬度大小或速度的限制,內(nèi)部光譜儀使用卡爾蔡司光譜儀,測量薄膜厚度再現(xiàn)性和透射率精度在在線檢測水平上達到了非常高的水平。

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可測量樣本示例

  • 硅、氧化硅、氮化硅

  • 砷化鎵

  • 二氧化鈦

  • 光刻 膠

  • 染料膜、油膜和彩色濾膜

  • 影片

  • 涂料和粘合劑

  • 紫外光固化樹脂

  • 金屬氧化膜、介電膜

  • 聚合體

  • 空氣層

  • 光盤、中藥、光盤

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