芯片周邊曝光 UV-LED光源

他是一款由

適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。
不僅可以安裝在新裝置上，而且從當(dāng)前使用的UV燈光源更換也很方便。
通過搭載UV-LED，可降低耗電量、降低環(huán)境負荷、延長發(fā)光源壽命，并且不需要機械相關(guān)的消耗部件，從而大大降低客戶的運行成本

紫外線発光源	紫外發(fā)光二極管
紫外線発光源壽命	20000小時（推定壽命驅(qū)動電流最大時）※紫外線強度為初期50%以上的點燈累計時間
照射ON/OFF功能	UV-LED的ON/OFF控制（通過遠程及手動控制點亮/熄滅）
光量調(diào)整機能	UV-LED的電流調(diào)整光量調(diào)整范圍為20～100%
外裝材質(zhì)	不銹鋼
外形寸法	150毫米×200毫米×192毫米

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