日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵FS-N 系列
高速?zèng)_程
高速?zèng)_程 (FS-80Ngao達(dá)200 spm),讓結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低,可同時(shí)用于高流量及高壓力工況。
無污染設(shè)計(jì)
過流端采用氟樹脂無污染構(gòu)造,使用*的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生。
高流量及高吐出壓力
大吐出量高達(dá)0.7MPa,不僅滿足化學(xué)供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求,同時(shí)適用于清洗及CMP制程。
傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。
日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵FS-N 系列
規(guī)格
大吐出量 | 100 L/min | ||||||||||||
大吐出壓力 | 0.7 MPa | ||||||||||||
大耗氣量 | 1495 NL/min | ||||||||||||
大沖程率 | 100 spm | ||||||||||||
主要材質(zhì) | PTFE, PFA | ||||||||||||
液體輸送溫度范圍 | 5 ~ 60 °C 高速?zèng)_程 高速?zèng)_程 (FS-80Ngao達(dá)200 spm),讓結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低,可同時(shí)用于高流量及高壓力工況。 無污染設(shè)計(jì) 過流端采用氟樹脂無污染構(gòu)造,使用*的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生。
高流量及高吐出壓力 傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。 規(guī)格
|
深圳市秋山貿(mào)易有限公司版權(quán)所有 地址:深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002